[发明专利]防镀膜影响的外部检出装置及溅镀装置有效
| 申请号： | 200910149501.5 | 申请日： | 2009-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN101930084A | 公开（公告）日： | 2010-12-29 |
| 发明（设计）人： | 刘忠炯;蔡明展;赖青华;黄泰源;魏木元;朴威辰 | 申请（专利权）人： | 友威科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01V8/12 | 分类号： | G01V8/12;C23C14/34;C23C14/56;C23C14/54;C23C14/52 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王雪静;逯长明 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种防镀膜影响的外部检出装置，其装设于一溅镀装置腔体的两个成对的玻璃窗口，其包含一发射器以及一接收器，分别置于该腔体外部且与该玻璃窗口位置对应，该玻璃窗口包含两个防镀管置于该腔体内并分别遮蔽两个该玻璃窗口，该发射器发射一输出光进入该腔体而经由两个防镀管及至该接收器；该防镀管可以在溅镀装置于溅镀制程中，提供对应的玻璃窗口有效的遮蔽，使材料粒子不会镀制于该玻璃窗口上，故提升溅镀装置的使用便利性并可降低维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 影响 外部 检出 装置 | ||
【主权项】：
一种防镀膜影响的外部检出装置，其包含：一讯号输出模块，其包含一发射器以及一输出模块防镀管，该发射器产生一输出光；该输出模块防镀管为中空且两端开放的管体，其固定置于该输出光的传输路径上；及一讯号接收模块，其包含一接收器以及一接收模块防镀管，该接收器与该发射器相对；该接收模块防镀管为中空且两端开放的管体，其置于该输出光的传输路径上并接收该输出光。
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