[发明专利]制造管状碳分子的方法和制造记录设备的方法无效
| 申请号： | 200910150450.8 | 申请日： | 2004-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN101618855A | 公开（公告）日： | 2010-01-06 |
| 发明（设计）人： | D·P·戈塞恩;梶浦尚志;丸山龙一郎;白石诚司;黄厚金;角野宏治;和智滋明;阿多诚文 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;C01B31/02;G11B5/84;G11B13/00;H01J9/02;H01J1/304;H01J29/04;H01J31/12 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 宋 鹤;南 霆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了制造管状碳分子的方法和制造记录设备的方法。该制造管状碳分子的方法能够以更精细的间隔和规则排列碳纳米管。通过基于调制热分布(11)的熔化将催化剂排列在由半导体如硅(Si)组成的基材(10)上，所述基材包含作为催化剂的铁。所述热分布(11)是通过用例如衍射光栅(12)使能量束(12)衍射形成的。分布催化剂的方法包括例如将铁以平面或凸起的形式沉积对应于所述热分布(11)的位置中，或者还包括使用其原始形式来将其转印到另一种基材上。使用所述分布催化剂生长碳纳米管。所述生长纳米管可用于记录设备、场致电子发射元件或FED。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 管状 分子 方法 记录 设备 | ||
【主权项】：
1.一种制造管状碳分子的方法，它包括：催化剂排列步骤，该步骤包括通过熔化排列对管状碳分子具有催化剂功能的金属，所述熔化是通过调制热分布达到的；生长管状碳分子的生长步骤，其特征在于所述催化剂排列步骤包括：熔化步骤，该步骤包括将根据所需图案调制的热分布施加到基材的表面上，以熔化所述基材的表面；母板形成步骤，该步骤包括通过使所述基材的表面散热在所述基材上对应于所述热分布的位置形成至少其尖端由转印材料制成的凸起，以形成在其表面上具有所述凸起图案的转印用母板；以及转印步骤，该步骤包括通过将所述转印用母板的图案转印到所述待转印的基材上，形成基材；和在所述基材上生长所述管状碳分子。
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