[发明专利]用于测量三维矢量的微机电系统元件无效
| 申请号： | 200910150864.0 | 申请日： | 2009-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN101613074A | 公开（公告）日： | 2009-12-30 |
| 发明（设计）人： | 服部敦夫 | 申请（专利权）人： | 雅马哈株式会社 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;G01P15/09;G01P9/02;G01H11/08;G01L1/16 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 葛 青 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在本发明中假定x轴线、y轴线和z轴线是直角坐标系的三条轴线的情况下，本发明提供一种微机电系统元件包括：支承部分，其沿y方向的长度比沿x方向的长度短；平行设置的两个膜状梁部分，其沿y方向的长度比沿x方向的长度短；配重部分，其沿y方向的长度比沿x方向的长度短，该配重部分跨过两个梁部分的中心，该配重部分包括连接部，该连接部跨过所述两个梁部分，两个突出部在所述两个梁部分之间的空间中从该连接部突出到相反方向；和多个畸变检测器，放置在每个梁部分上并对与梁部分的变形相对应的畸变进行检测，以测量与作用在配重部分上的力相对应的矢量的xyz分量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 三维 矢量 微机 系统 元件 | ||
【主权项】：
1、一种微机电系统元件，其中，x轴线、y轴线和z轴线是直角坐标系的三条轴线，该微机电系统元件包括：支承部分，其沿y方向的长度比沿x方向的长度短；两个梁部分，其沿y方向的长度比沿x方向的长度短，每个梁部分是沿x方向跨过支承部分的膜并被设置为平行于另一梁部分；配重部分，其沿y方向的长度比沿x方向的长度短，该配重部分跨过两个梁部分的中心，该配重部分包括连接部，该连接部跨过所述两个梁部分，两个突出部在所述两个梁部分之间的空间中从该连接部突出到相反方向；和多个畸变检测器，放置在每个梁部分上并对与梁部分的变形相对应的畸变进行检测，以测量与作用在配重部分上的力相对应的矢量的xyz分量。
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