[发明专利]一种气体浓度测量仪

摘要

本发明涉及一种气体浓度测量仪。现有的气室长度较长或加工要求精度高、造价昂贵、光程不易控制。本发明中的气室为柱形全封闭结构的玻璃气室，其截面为椭圆形，气室的内侧壁镀有全反膜，气室的顶盖和底盖分别开有设置有进气口和出气口，气室内侧壁上的全反膜开有入射通光窗口，与入射通光窗口对应的位置设置入射光纤准直器，入射光纤准直器通过光纤与激光器连接。气室内侧壁上的全反膜开有出射通光窗口，与出射通光窗口对应的位置设置出射光纤准直器，出射光纤准直器输出端与探测器输入端光连接，探测器输出端与信号处理器连接。入射通光窗口与出射通光窗口处于在同一水平椭圆截面上。本发明装置加工简单、成本低，信噪比和检测灵敏度高。

主权项

一种气体浓度测量仪，包括气室、激光器、探测器、入射光纤准直器、出射光纤准直器、信号处理器和废气处理回收装置，其特征在于：所述的气室为柱形全封闭结构的玻璃气室，其截面为椭圆形，气室的内侧壁镀有全反膜，气室的顶盖设置有进气口，进气口通过进气管路与气瓶连接，进气管路上设置有流量计和进气阀门；气室的底盖设置有出气口，出气口通过出气管路与废气回收装置连接，出气管路上设置有出气阀门和真空泵；所述的气室内侧壁上的全反膜开有一个入射通光窗口和一个出射通光窗口，气室外设置有入射光纤准直器和出射光纤准直器，入射光纤准直器靠近入射通光窗口设置，出射光纤准直器靠近出射通光窗口设置；入射光纤准直器的光输出端与入射通光窗口位置对应，入射光纤准直器的光输入端通过光纤与激光器连接；出射光纤准直器的光输入端与出射通光窗口位置对应，出射光纤准直器的光输出端与探测器输入端光连接，探测器输出端与信号处理器连接；所述的入射通光窗口与出射通光窗口处于柱形气室的同一水平椭圆截面上；入射通光窗口位于椭圆的一个短轴端点处，入射通光窗口和椭圆长轴上的一个焦点处于入射光纤准直器的入射光的光路上；出射通光窗口位于靠近椭圆长轴上另一个焦点的长轴端点处。