[发明专利]在硅基体表面置换沉积纳米结构银镀层的溶液及其使用方法

摘要

本发明公开的在硅基体表面置换沉积纳米结构银镀层的溶液是以水作溶剂，每升溶液中含有：AgNO3 3-5克；NaF 0.5-2.5克；分子量为55000的聚乙烯吡咯烷酮0-100克。用于在硅基体表面镀银层的方法如下：将清洗后的硅基体浸渍于银镀层溶液中，反应温度为40-60℃，沉积完毕水洗，烘干，在硅基体表面获得纳米结构银镀层。当银镀层溶液中不含PVP时，得到纳米线和纳米颗粒的混合层，当银镀层溶液中含有PVP时，得到纳米颗粒层。本发明的溶液成分简单，反应温和，施镀工艺简单可控，有利于进行大规模生产，可用于超大规模集成电路和微机电系统制造领域。

主权项

一种在硅基体表面置换沉积纳米结构银镀层的溶液，其特征是以水作溶剂，每升溶液中含有：AgNO3 3-5克；NaF 0.5-2.5克；分子量为55000的聚乙烯吡咯烷酮 0-100克。