[发明专利]基板浮起装置有效
| 申请号： | 200910157418.2 | 申请日： | 2009-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN101643150A | 公开（公告）日： | 2010-02-10 |
| 发明（设计）人： | 木内智一 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;G02F1/13;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板浮起装置，在该基板浮起装置中，利用简单的结构对浮起板供给压力恒定的空气。基板浮起装置(10)具备：多个浮起板(11)，它们排出基板浮起用的空气；缓冲罐(12a)，其暂时地贮存对该多个浮起板(11)供给的空气；以及多个空气配管(13)，它们从该缓冲罐(12a)分别对多个浮起板(11)供给空气，其中，浮起板(11)呈矩形瓦片状，并呈矩阵状排列，缓冲罐(12a)配置在用于配置多个浮起板(11)的区域的下方，并且沿着浮起板(11)的排列方向(箭头D1、D2)中的一个方向延伸，多个空气配管(13)利用实质上相同的长度将缓冲罐(12a)和多个浮起板(11)之间连结起来。 | ||
| 搜索关键词： | 浮起 装置 | ||
【主权项】：
1、一种基板浮起装置，所述基板浮起装置具备：多个浮起板，它们排出基板浮起用的空气；缓冲罐，其暂时地贮存对该多个浮起板供给的空气；以及多个空气配管，它们从该缓冲罐分别对所述多个浮起板供给空气，所述基板浮起装置的特征在于，所述浮起板呈矩形瓦片状，并呈矩阵状排列，所述缓冲罐配置在用于配置所述多个浮起板的区域的下方，并且沿着所述浮起板的排列方向中的一个方向延伸，所述多个空气配管以实质上相同的长度将所述缓冲罐和所述多个浮起板之间连结起来。
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