[发明专利]具有气泡阻断环的清洗蚀刻机台

摘要

本发明提供一种具有气泡阻断环的清洗蚀刻机台，为使转盘能旋转，在转盘与蚀刻机台座之间具有缝隙，蚀刻的化学气体即有通路进入马达室。为防止腐蚀性化学气体腐蚀马达及其它机件，本发明在化学气体通路上设置气泡阻断环，由氮气及纯水形成气泡，形成一道化学气体阻断环，使腐蚀性化学气体不能进入马达室而防止腐蚀，增加蚀刻机台的使用寿命。

主权项

一种具有气泡阻断环的清洗蚀刻机台，其特征在于：旋转机台转盘下的缝隙上以氮气及纯水形成气泡以隔离化学气体进入马达室而防止马达被腐蚀，至少包含：一个清洗蚀刻机台，具有蚀刻机台座，至少包含一个转盘及一个旋转马达，该转盘有真空吸着机构以吸着晶圆；一组气泡产生装置，氮气及纯水进口将氮气及纯水引入气泡环形成气泡，以形成一道化学气体阻断环；一个第一抽气排水环，将气体及纯水自抽气排水口排出；一个第二抽气排水环，将逸入的气体及纯水完全排出。