[发明专利]光学各向异性参数测定方法及测定装置

摘要

本发明“光学各向异性参数测定方法及测定装置”发展了差动SMP法，能够在短时间内测定不同的三种偏振状态的复振幅反射率比的相位差及大小。根据A～D中3种偏振状态合计12种光强度来测定相位差及大小：(A)对于在P±α_A方向上的偏振光，以偏振光间相位被调整为γ_A1及γ_A2的合计4种偏振光作为入射光，其反射光所包含的合计4种S偏振光；(B)以P偏振光作为入射光时，其反射光P偏振光与S偏振光的偏振光间相位差被调整为γ_B1及γ_B2的偏振光中，在S±α_B方向上振动的合计4种偏振光；(C)对于S±α_C方向上的偏振光，以偏振光间相位被调整为γ_C1及γ_C2的合计4种偏振光作为入射光，其反射光所包含的合计4种P偏振光；(D)以S偏振光为入射光时，其反射光P偏振光与S偏振光的偏振光间相位差被调整为γ_D1及γ_D2的偏振光中，在P±α_D方向上振动的合计4种偏振光。

主权项

1.一种光学各向异性参数测定方法，使入射光从规定的测定方位以一定入射角度照射测定对象面上的测定点，根据由测定其反射光所包含的特定方向的偏振光分量的光强度所获得的光强度数据，测定成为光学各向异性参数的复振幅反射率比的相位差Δχ(χ是偏振状态)，其特征在于，使上述入射光偏振化，以预先设定的测定方位照射测定点而进行测定的情况下，以测定对象面作为基准，将在与其正交的面内振动的直线偏振光设为P偏振光，在与该P偏振光正交的方向上振动的直线偏振光设为S偏振光时，根据对以下的A～D的四个偏振状态中至少三个偏振状态各4种合计12种反射光测定的光强度数据，按照预先设定的程序，从按各偏振状态赋予的偏振光间相位差相等的反射光强度数据之间的二个差算出二个光强度差数据，通过将这二个光强度差数据相除，算出该入射光的测定方位上的复振幅反射率比的相位差Δχ，A：对于在P偏振光的振动方向的±αA(0＜αA＜π/2)的方向上振动的一对偏振光，以各自的P偏振光分量和S偏振光分量的偏振光间相位差调节为γA1及γA2的合计4种偏振光作为入射光在测定对象面反射时，各反射光所包含的合计4种S偏振光；B：P偏振光作为入射光在测定对象面反射时，反射光的P偏振光分量和S偏振光分量的偏振光间相位差调节为γB1及γB2的2种光所包含的偏振光中，在S偏振光的振动方向的±αB(0＜αB＜π/2)的方向上振动的合计4种偏振光；C：对于在S偏振光的振动方向的±αC(0＜αC＜π/2)的方向上振动的一对偏振光，以各自的P偏振光分量和S偏振光分量的偏振光间相位差调节为γC1及γC2的合计4种偏振光作为入射光在测定对象面反射时，各反射光所包含的合计4种P偏振光；D：S偏振光作为入射光在测定对象面反射时，反射光的P偏振光分量和S偏振光分量的偏振光间相位差调节为γD1及γD2的2种光所包含的偏振光中，在P偏振光的振动方向的±αD(0＜αD＜π/2)的方向上振动的合计4种偏振光。