[发明专利]基板搬运装置、基板定位方法及装置无效
| 申请号： | 200910160320.2 | 申请日： | 2009-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN101676181A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 谷口竹志 | 申请（专利权）人： | 大日本网屏制造株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G49/07;B65G51/03;B65G13/00;B65G15/00;B65G47/24;G02F1/1333;H01L21/677;H01L21/68 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭晓东;马少东 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种基板搬运装置，其能够防止因基板的挠曲而产生的变形或破损，以非接触的状态搬运基板。从基板(25)的下方，面状地施加用于向水平姿势的基板(25)的下表面喷出的压缩空气。因此，基板(25)上浮且受到向基准线(RL)侧的作用力。使被压缩空气施加作用力的基板(25)的基准边缘(25E)抵接至沿基准线(RL)设置的搬运辊(35)的排列上。通过搬运辊(35)的驱动，基板(25)在以基准边缘(25E)与搬运辊(35)相抵接的上浮状态下被水平搬运。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 装置 定位 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板搬运装置，用于搬运基板，其特征在于，具有：上浮力施加单元，其将在与规定的基准面垂直的第一方向和与上述基准面平行且与上述第一方向垂直的第二方向这两个方向上具有速度分量而喷出的压缩气体，从上述基准面侧施加给配置在上述基准面上的基板，由此使上述基板上浮到上述基准面之上，并且对上述基板向上述第二方向施力；搬运单元，其沿着在上述基准面的上述第二方向侧规定的大致水平的基准线设置，通过与上述基板的规定的边缘抵接，并将向与上述基准线平行的基板搬运方向进行搬运的搬运力施加在上述边缘上，从而将上述基板向上述基板搬运方向搬运。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大日本网屏制造株式会社，未经大日本网屏制造株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910160320.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
