[发明专利]微机械式传感器元件及其制造方法和运行方法有效
| 申请号： | 200910160724.1 | 申请日： | 2009-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN101628704A | 公开（公告）日： | 2010-01-20 |
| 发明（设计）人： | M·奥分贝格;M·鲍斯 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;B81C5/00;B81C3/00;G01P15/125 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提出了一种微机械式传感器元件以及制造微机械式传感器元件的方法和运行微机械式传感器元件的方法，该微机械式传感器具有基底和悬挂在该基底上的第一振动质量，该第一振动质量能够通过垂直于主延伸平面作用的加速度而从第一静止位置偏转出来，其中，该微机械式传感器元件具有第二振动质量，该第二振动质量能够通过所述加速度而从第二静止位置偏转出来，其中，第一振动质量与第二振动质量被设置成垂直于主延伸平面至少部分地重叠。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 传感器 元件 及其 制造 方法 运行 | ||
【主权项】：
1.一种微机械式传感器元件(1)，其具有基底(2)和悬挂在该基底(2)上的第一振动质量(10)，该第一振动质量(10)能够通过垂直于主延伸平面(100)作用的加速度从第一静止位置偏转出来，其特征在于，该微机械式传感器元件(1)具有第二振动质量(20)，该第二振动质量(20)能够通过所述加速度而从第二静止位置偏转出来，其中，第一振动质量(10)与第二振动质量(20)被设置成垂直于主延伸平面(100)至少部分地重叠。
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