[发明专利]研磨液供给系统及化学机械研磨站的研磨液混合物供给法

摘要

一种研磨液供给系统及化学机械研磨站之的研磨液混合物供给法，该研磨液供给系统适用于半导体制造设备中的一化学机械研磨工艺及相关方法。研磨液供给系统包括一阀箱与一第一研磨液供给系列。阀箱包括至少一化学机械研磨站的一研磨液排放管座。第一研磨液供给系列可包括一研磨液混合槽、研磨液供给槽、以串联泵送关系设置的至少两研磨液供给泵。第一研磨液供给系列定义一第一研磨液管路回路。在实施例中也提供了用于定义一第二研磨液管路回路的一第二研磨液供给系列。来自第一研磨液管路回路与第二研磨液管路回路的研磨液可分别或同时经由阀箱的操作而供应至化学机械研磨站。本发明不但可以简化供应研磨液的操作，而且可以降低设备维护成本。

主权项

一种研磨液供给系统，适用于在一半导体制造设备中的一化学机械研磨，该研磨液供给系统包括：一阀箱，包括数个阀件与一研磨液料排放管座，该研磨液排放管座系流动性地连接于至少一化学机械研磨站；以及一第一研磨液供给系列，包括一第一研磨液混合槽、一第一研磨液供给槽、至少两第一研磨液供给泵、一第一泵排放管路与一第一研磨液回流管路，该第一研磨液混合槽用以制备稀释该研磨液，该第一研磨液供给槽通过一第一混合槽排放管路而流动性地连接于一第一混合槽，所述至少两第一研磨液供给泵以串联泵送关系进行设置且经由一第一泵吸取管路而连接于该第一研磨液供给槽，该第一泵排放管路自所述至少两第一研磨液供给泵而被安排至该阀箱，该第一研磨液回流管路自该阀箱而被安排至该第一研磨液供给槽，该第一泵排放管路与该第一研磨液回流管路定义一第一研磨液管路回路，其中，在将该阀箱中的所述数个阀件相互连接于该第一研磨液管路回路的方式下，该研磨液自该第一研磨液管路回路以可操作地而供应至该至少一化学机械研磨站。