[发明专利]靶材热处理方法有效
| 申请号： | 200910164856.1 | 申请日： | 2009-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN101624694A | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;欧阳琳;刘庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/00;C21D1/68 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 吴靖靓;李 丽 |
| 地址： | 315400浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材热处理方法，包括：提供靶材；加热装有细铁砂的铁质容器，所述细铁砂能包覆所述靶材；将所述靶材埋入装有细铁砂的铁质容器中，对所述靶材进行热处理。与现有技术相比，所述靶材热处理方法能够确保靶材均匀受热，实现其组织结构的均匀性，满足溅射要求。 | ||
| 搜索关键词： | 热处理 方法 | ||
【主权项】：
1.一种靶材热处理方法，其特征在于，包括：提供靶材；加热装有细铁砂的铁质容器，所述细铁砂能包覆所述靶材；将所述靶材埋入装有细铁砂的铁质容器中，对所述靶材进行热处理。
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