[发明专利]修正布局图案的方法有效
| 申请号： | 200910164998.8 | 申请日： | 2009-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN101989309A | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 杨育祥;黄俊宪 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;H01L27/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 史新宏 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是揭露一种修正布局图案的方法。首先输入一布局图案，且该布局图案包含至少一线段，然后由该线段形成一规则检测矩形，且该规则检测矩形包含至少一正方形。接着检测该正方形是否重迭其它布局图案的其它部分，并移除该正方形重迭其它布局图案的区域以取得一修正后的布局图案。最后输出该修正后的布局图案至一光罩。 | ||
| 搜索关键词： | 修正 布局 图案 方法 | ||
【主权项】：
一种修正布局图案的方法，包含：输入一布局图案，且该布局图案包含至少一线段；由该线段形成一规则检测矩形，且该规则检测矩形包含至少一正方形；检测该正方形是否重迭其它布局图案的其它部分；移除该正方形重迭其它布局图案的区域以取得一修正后的布局图案；以及输出该修正后的布局图案至一光罩。
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