[发明专利]电熔丝和半导体装置有效
| 申请号： | 200910166066.7 | 申请日： | 2009-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN101651128A | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | 竹胁利至 | 申请（专利权）人： | 恩益禧电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/525 | 分类号： | H01L23/525;H01L23/532 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙志湧;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及电熔丝和半导体装置。一种电熔丝，包括：要被切断的互连；以及第一端子和第二端子，其分别提供在要被切断的互连的两端。要被切断的互连，包括：第一定向膜，其包含铜作为主要成分并且被定向在(111)面中；以及第二定向膜，其包含铜作为主要成分并且被定向在(511)面中。在第一定向膜的宽度方向上，第二定向膜被提供在第一定向膜内部，以便分割第一定向膜，所述第一定向膜的宽度方向与从第一端子到第二端子的方向相垂直。因此，变得可以确保切断其构成材料为铜的电熔丝，并且此外，可以在切断电熔丝之后将电熔丝保持在良好的切断状态。 | ||
| 搜索关键词： | 电熔丝 半导体 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电熔丝，包括：要被切断的互连；以及第一端子和第二端子，其分别提供在所述要被切断的互连的两端，所述要被切断的互连包括：第一定向膜，其包含铜作为主要成分并且被定向在(111)面中；以及第二定向膜，其包含铜作为主要成分并且被定向在(511)面中，在所述第一定向膜的宽度方向上，所述第二定向膜被提供在所述第一定向膜内部以使得分割所述第一定向膜，其中所述第一定向膜的宽度方向垂直于从所述第一端子到所述第二端子的方向。
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