[发明专利]太阳能选择性吸收膜的连续卷绕镀膜装置有效
| 申请号： | 200910166870.5 | 申请日： | 2009-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN101649447A | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | 范多望;范多进;令晓明;孔令刚 | 申请（专利权）人： | 兰州大成自动化工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;F24J2/48 |
| 代理公司： | 兰州振华专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张 真 |
| 地址： | 730070*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于金属薄板带在真空条件下表面物理气相沉积的领域。一种太阳能选择性吸收膜的连续卷绕镀膜装置，包括开卷机组(10)，其主要特点设置的真空镀膜室包括有A低真空室(20a、20b)，离子处理室(30)，B低真空室(40)，高真空室(50)，5个真空镀膜室(60)，室与室之间有法兰密封连接，并设有金属薄板带(1)通过的窗口(2)；A低真空室(20a、20b)、离子处理室(30)、B低真空室(40)、高真空室(50)、真空镀膜室(60)与真空机组(90)相连；在真空镀膜室外还设有收卷机组(80)，连续镀膜的控制系统(100)。这种装置的优点在于：可在金属薄板带上镀多层膜、反应膜，膜层厚度可独立进行控制，膜层均匀致密，附着力强适合工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能 选择性 吸收 连续 卷绕 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种太阳能选择性吸收膜的连续卷绕镀膜装置，包括开卷机组(10)，其特征在于设置的真空镀膜室包括有A低真空室(20a、20b)，离子处理室(30)，B低真空室(40)，高真空室(50)，5个真空镀膜室(60)，室与室之间有法兰密封连接，并设有金属薄板带(1)通过的窗口(2)；A低真空室(20a、20b)、离子处理室(30)、B低真空室(40)、高真空室(50)、各真空镀膜室与真空机组(90)相连；在真空镀膜室外还设有收卷机组(80)，连续镀膜的控制系统(100)。
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