[发明专利]多晶氧化镁材料及其制造方法和氧化镁膜的制造方法有效
| 申请号： | 200910166952.X | 申请日： | 2009-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN101634010A | 公开（公告）日： | 2010-01-27 |
| 发明（设计）人： | 植木明;增田彰;高崎薰;財田真人 | 申请（专利权）人： | 宇部材料工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C30B29/16;C04B35/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 熊玉兰;李平英 |
| 地址： | 日本国山*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供通过电子束蒸镀法能够形成高度均匀地分散有稀土类金属的氧化镁膜的蒸镀材料。多晶氧化镁材料包含平均结晶粒径为2.0～50μm的氧化镁结晶粒子的多晶体，稀土类金属以0.005～0.060质量％的量分散在氧化镁结晶粒子中。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 氧化镁 材料 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.多晶氧化镁材料，其中，所述多晶氧化镁材料包含平均结晶粒径为2.0～50μm的氧化镁结晶粒子的多晶体，稀土类金属以0.005～0.060质量％的量分散在氧化镁结晶粒子中。
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