[发明专利]基于声界面波、集成MEMS开关的单片滤波器组件及其制作方法

摘要

本发明公开了一种基于声界面波、集成MEMS开关的单片滤波器组件及其制备方法，该组件由一组或者几组相互垂直排列且成层状结构的上述声界面滤波器和分布在每组声界面滤波器周围相对应的MEMS开关集成，MEMS开关的信号输入电极、信号输出电极、接地电极与封装对应的焊盘均用引线连接，滤波器的信号输出电极通过引线连接MEMS开关的信号输入电极，滤波器的信号输入电极通过引线连接MEMS开关的信号输出电极。该滤波器组件克服了现有技术中开关与滤波器分离、体积庞大的缺点，实现了滤波器的纵向排列和滤波器与开关的集成，大幅度缩小了滤波器组件的体积。

主权项

一种基于声界面波、集成MEMS开关的单片滤波器组件，包括若干声界面滤波器以及MEMS开关，其特征在于：①所述声界面滤波器从下至上依次设置衬底、绝缘层、滤波器电极层、压电膜层和绝缘层，还包括信号输入电极和信号输出电极；②所述MEMS开关包括接地电极、驱动电极、信号输入电极、信号输出电极，还包括设置在信号接触区的凸点、信号输出电极下的空腔支柱、输出电极上的桥膜层、在激励电极上的介质绝缘层；③该组件由一组或者几组相互垂直排列且成层状结构的上述声界面滤波器和分布在每组声界面滤波器周围相对应的MEMS开关集成，MEMS开关的信号输入电极、信号输出电极、接地电极与封装对应的焊盘均用引线连接，滤波器的信号输出电极通过引线连接MEMS开关的信号输入电极，滤波器的信号输入电极通过引线连接MEMS开关的信号输出电极。