[发明专利]图像感测装置及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200910168187.5 申请日: 2009-09-03
公开(公告)号: CN101853812A 公开(公告)日: 2010-10-06
发明(设计)人: 王文德;杨敦年;刘人诚;庄俊杰;林政贤 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L21/82 分类号: H01L21/82;H01L21/3205;H01L27/146
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人: 姜燕;陈晨
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明提供一种图像感测装置及其制造方法,上述图像感测装置的制造方法包括提供一装置基板,其具有一前侧和一后侧;于上述装置基板中形成一第一辐射线感测区和一第二辐射线感测区,上述第一辐射线感测区和上述第二辐射线感测区以一隔绝结构隔开;于上述装置基板的上述后侧上方形成一透明层;于上述透明层中形成一开口,上述开口对准上述隔绝结构;利用一不透明材料填入上述开口。本发明可以降低图像感测装置中的光学串扰,提高图像感测装置的性能。
搜索关键词: 图像 装置 及其 制造 方法
【主权项】:
一种图像感测装置的制造方法,包括下列步骤:提供一装置基板,其具有一前侧和一后侧;于该装置基板中形成一第一辐射线感测区和一第二辐射线感测区,该第一辐射线感测区和该第二辐射线感测区以一隔绝结构隔开;于该装置基板的该后侧上方形成一透明层;于该透明层中形成一开口,该开口对准该隔绝结构;以及利用一不透明材料填入该开口。
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