[发明专利]图像测量设备及计算机程序

摘要

本发明涉及一种图像测量设备和相应的计算机程序，其基于通过把光线施加到置有测量对象的载物台上并在成像装置上执行所述光线的透射光或反射光的图像形成所得到的图像来对测量对象的形状进行测量。在视域范围内显示通过在成像装置上执行成像所得到的测量对象的图像，并基于测量对象的图像提取特征量信息。判定是否已存储了与所提取的特征量信息近似一致的特征量信息。如果判定已经存储了近似一致的特征量信息，根据与特征量信息相关联地存储的测量条件信息对测量对象的形状进行测量。

主权项

1.一种图像测量设备，用来基于图像对测量对象的形状进行测量，所述图像是通过把光线施加到置有测量对象的载物台上并在成像装置上执行所述光线的透射光或反射光的图像形成所得到的，所述图像测量设备包括：特征量信息存储单元，其构造来将测量对象形状中固有的特征量信息与测量对象的测量条件信息相关联地存储；显示单元，其构造来在视域范围内显示通过在成像装置上执行图像形成所得到的测量对象的图像；特征量信息提取单元，其构造来基于测量对象的图像提取特征量信息；判定单元，其构造来判定是否已存储与所提取的特征量信息近似一致的特征量信息；以及测量单元，其构造来在判定单元判定存储近似一致的特征量信息的情况下，根据与特征量信息相关联地存储的测量条件信息对测量对象的形状进行测量。