[发明专利]电子显微镜中的可变速率扫描有效
| 申请号： | 200910170555.X | 申请日： | 2009-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN101685075A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 阿米尔·肖汉姆;本齐恩·森德;阿朗·利特曼 | 申请（专利权）人： | 以色列商·应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G01N23/225 | 分类号： | G01N23/225;H01J37/256;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;王金宝 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 本发明涉及电子显微镜中的可变速率扫描，并特别提供一种用于对表面成像的方法，其包括用初始带电粒子束以第一扫描速率扫描所述表面的第一区域，以便从所述第一区域产生第一二次带电粒子束；以及用所述初始带电粒子束以比所述第一扫描速率快的第二扫描速率扫描所述表面的第二区域，以便从所述第二区域产生第二二次带电粒子束。所述方法还包括在设置成产生响应所述束的信号的检测器处接收所述第一二次带电粒子束和所述第二二次带电粒子束；以及响应所述信号形成所述第一区域和所述第二区域的图像。 | ||
| 搜索关键词： | 电子显微镜 中的 可变 速率 扫描 | ||
【主权项】：
1.一种用于对表面成像的方法，其包含：用初始带电粒子束以第一扫描速率扫描所述表面的第一区域，以便从所述第一区域产生第一二次带电粒子束；用所述初始带电粒子束以比所述第一扫描速率快的第二扫描速率扫描所述表面的第二区域，以便从所述第二区域产生第二二次带电粒子束；在设置成产生响应所述第一二次带电粒子束和所述第二二次带电粒子束的信号的检测器处接收所述第一二次带电粒子束和所述第二二次带电粒子束；以及形成响应所述信号的所述第一和所述第二区域的图像。
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