[发明专利]多层基板的制作方法及其基板

摘要

本发明提供一种多层基板的制作方法及其基板，其通过提供一叠层结构，叠层结构具有至少一核心结构以及堆叠于核心结构的两个表面上的至少一第一叠层结构与至少一第二叠层结构。核心结构作为暂时的承载器，用于双面的制程步骤中承载第一与第二叠层结构。通过前述制作方法，可大幅提升生产良率而不增加制作成本。

主权项

1、一种多层基板的制作方法，包括：提供一双面叠层结构，其具有至少一核心结构、配置于该核心结构的两个表面上的至少一第一保护层与至少一第二保护层，以及分别配置于该第一保护层与该第二保护层上的至少一第一金属层与至少一第二金属层；形成多个镀通孔于该双面叠层结构中；图案化该第一金属层与该第二金属层；分别于该第一金属层以及该第二金属层上形成一第一罩幕层与一第二罩幕层；以及进行一分离制程，以使该图案化第一金属层、第二金属层以及该第一、该第二保护层分别分离于该核心结构。