[发明专利]一种三氯氢硅生产过程中吸收后的液体纯化工艺无效
| 申请号： | 200910172332.7 | 申请日： | 2009-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN101665255A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 杨海建;张扬;马麟;李占青;刘玉芹 | 申请（专利权）人： | 洛阳世纪新源硅业科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 471333河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种三氯氢硅生产过程中吸收后的液体纯化工艺，包括：沉淀；一次精馏；二次精馏：四氯化硅精馏；精馏后的液体大部分作为回流重新回到精馏塔中，少部分液体作为产品进入到四氯化硅产品罐后送入冷氢化装置中重新利用，高沸物送入到三废液罐中。本发明使三氯氢硅(SiHCl3)达到含硼(B)小于等于0.05ppb、磷(P)小于等于0.1ppb直接可以用于高纯多晶硅的生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三氯氢硅 生产过程 吸收 液体 纯化 工艺 | ||
【主权项】：
1、一种三氯氢硅生产过程中吸收后的液体纯化工艺，其特征在于：①沉淀：淋洗后液体进入到四氯化硅进料罐，重液体沉淀后送入沉淀液罐中；②一次精馏：沉淀后的液体进入到精馏塔中进行精馏，精馏后的液体大部分作为回流液重新回到精馏塔中，少部分液体作为产品进入到一级产品罐中，精馏塔内高沸物进入高沸物罐后送到四氯化硅贮罐中；③二次精馏：一级产品罐中的液体经进入二级精馏塔中进行精馏，精馏后的液体大部分作为回流液重新回到精馏塔中，少部分液体作为产品进入到二级产品罐中，精馏塔内高沸物进入高沸物贮罐后送到四氯化硅进料罐中，二级产品罐中的液体由屏蔽泵进入纯三氯氢硅贮罐中；④四氯化硅精馏：四氯化硅进料罐中液体送入四氯化硅精馏塔中进行精馏，精馏后的液体大部分作为回流重新回到精馏塔中，少部分液体作为产品进入到四氯化硅产品罐后送入冷氢化装置中重新利用，高沸物送入到三废液罐中。
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