[发明专利]采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统有效
申请号: | 200910172949.9 | 申请日: | 2009-09-11 |
公开(公告)号: | CN101694560A | 公开(公告)日: | 2010-04-14 |
发明(设计)人: | 朱煜;张鸣;汪劲松;闵伟;尹文生;胡金春;徐登峰;杨开明;段广洪;田丽;许岩 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H02K33/18 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 邸更岩 |
地址: | 100084 北京市10*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统,主要用于光刻机系统中。该硅片台双台交换系统包括基台、两个结构相同的分别工作于预处理工位和曝光工位的硅片台和硅片台驱动装置。所述硅片台驱动装置由平面电机和气浮结构组成,平面电机采用永磁平面电机、步进式平面电动机、感应式平面电动机或开关磁阻式平面电机,平面电机一个定子和两个动子组成,定子设置在基台顶部,动子设置在硅片台的底部;所述气浮结构由多个设置于硅片台底部的气浮轴承组成。该系统通过平面电机直接驱动硅片台实现平面上的双台交换和步进扫描运动,提高了光刻机的生产率、套刻精度和分辨率。 | ||
搜索关键词: | 采用 平面 电机 硅片 台双台 交换 系统 | ||
【主权项】:
一种采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统,包括基台(11),两个结构相同的分别工作于预处理工位和曝光工位的硅片台和硅片台驱动装置,其特征在于:所述硅片台驱动装置由平面电机和气浮结构组成,平面电机由一个定子(20)和两个动子组成,平面电机的定子(20)设置在基台顶部,每个硅片台的底部设有平面电机的一个动子(24);所述气浮结构由多个设置于硅片台底部的气浮轴承(23)组成。
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