[发明专利]进给驱动机构及其连接组件有效
| 申请号： | 200910173549.X | 申请日： | 2009-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN102024667A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 欧峰铭;王仁杰;陈世昌;邱建志;刘义晃 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;B81C1/00;F16H25/20;F16H57/04;B23Q5/22 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种进给驱动机构及其连接组件，其中连接组件包括有主体及外套筒。主体具有连接板及连结于连接板侧面的内套筒，连接板以相对的二侧面而分别与进给驱动机构的螺帽座与导螺杆螺帽相固设，且内套筒的外侧面环设有流道。外套筒套设于内套筒的外侧面上，并令流道构成封闭空间，且外套筒具有分别与流道相连通的流入口及流出口，由此灌注冷却介质至流道内。 | ||
| 搜索关键词： | 进给 驱动 机构 及其 连接 组件 | ||
【主权项】：
一种连接组件，应用于进给驱动机构，该进给驱动机构具有导螺杆螺帽及螺帽座，该连接组件包括有：主体，具有连接板及内套筒，该连接板具有相对的第一侧面及第二侧面，分别与该导螺杆螺帽及该螺帽座相固设，该内套筒连结于该第二侧面上，且该内套筒的外侧面上环设有流道；以及外套筒，套设于该内套筒的该外侧面上，并令该流道构成封闭空间，该外套筒具有流入口及流出口，分别与该流道相连通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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