[发明专利]光学照明装置、曝光装置以及曝光方法有效
| 申请号： | 200910173714.1 | 申请日： | 2004-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN101685264A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 豊田光纪 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/28;G02B27/44 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿 宁;张华辉 |
| 地址： | 日本东京千代*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学照明装置，适用在将配置在被照射面的掩膜的图案转写到感光性基板的曝光装置中，所述光学照明装置基于来自光源的光束而对所述被照射面进行照明，所述光学照明装置包括：光学元件，其利用有旋光性的光学材料形成；其中，所述光学元件的光学结晶轴配置成与所述照明光学装置的光轴方向一致；所述光学元件具有：在沿光的透过方向的厚度互异的多个部分。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 照明 装置 曝光 以及 方法 | ||
【主权项】：
1、一种光学照明装置，适用于将配置在被照射面的掩膜的图案转写到感光性基板的曝光装置中，所述光学照明装置基于来自光源的光束而对所述被照射面进行照明，所述光学照明装置的特征在于包括：光学元件，利用有旋光性的结晶光学材料而形成；其中，所述光学元件的光学结晶轴配置成与所述照明光学装置的光轴方向一致；所述光学元件具有：在沿着光的透过方向的方向中、厚度互异的多个部分。
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