[发明专利]光学照明装置、曝光装置以及曝光方法有效
| 申请号： | 200910173716.0 | 申请日： | 2004-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN101685265A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 豊田光纪 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/28;G02B27/44 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿 宁;张华辉 |
| 地址： | 日本东京千代*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学照明装置，适用在将配置在被照射面的掩膜的图案转写到感光性基板的曝光装置中，所述光学照明装置基于来自光源的光束而对所述被照射面进行照明。所述光学照明装置包括：多个结晶光学元件，配置在将所述光学照明装置的光轴进行横切的面内，所述结晶光学元件利用有旋光性的结晶光学材料而形成；以及反射元件，配置在所述多个结晶光学元件所配置的面、与所述被照射面之间的照明光路；其中，所述多个结晶光学元件将来自所述光源的光束相对于所述感光性基板变换成为S偏光的设定的偏光状态的光束而射出，以成为照射到所述感光性基板的光。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 照明 装置 曝光 以及 方法 | ||
【主权项】：
1、一种光学照明装置，适用在将配置在被照射面的掩膜的图案转写到感光性基板的曝光装置中，所述光学照明装置基于来自光源的光束而对所述被照射面进行照明，所述光学照明装置的特征在于包括：多个结晶光学元件，配置在将所述光学照明装置的光轴进行横切的面内，所述结晶光学元件利用有旋光性的结晶光学材料而形成；以及反射元件，配置在：所述多个结晶光学元件所配置的面、与所述被照射面之间的照明光路；其中，所述多个结晶光学元件将来自所述光源的光束相对于所述感光性基板变换成为S偏光的设定的偏光状态的光束而射出，以成为照射到所述感光性基板的光。
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