[发明专利]用于生产结构的模具、印痕设备以及工艺有效
| 申请号： | 200910173899.6 | 申请日： | 2006-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN101666974A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 末平信人;关淳一 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B29C35/08;B29C59/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 范 莉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 为了减轻或抑制在不期望发生可光致固化的树脂材料的固化的区域中可光致固化的树脂材料的固化，借助于具有印痕图案部分和无图案部分的模具，通过设有遮光元件的无图案部分抑制可光致固化的树脂材料的曝光，或者通过设置遮光元件以便于不会由未通过模具的光线照射可光致固化的树脂材料而抑制可光致固化的树脂材料的曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 生产 结构 模具 印痕 设备 以及 工艺 | ||
【主权项】：
1、一种印痕方法，包括：将模具与其上设置有可光致固化的树脂材料的基底相对地设置；确定基底上的第一加工区域；通过与模具上的印痕图案接触而使第一加工区域中的可光致固化的树脂材料变形；通过曝光使第一加工区域中的可光致固化的树脂材料固化；将固化的树脂材料和模具彼此分离；确定不与第一加工区域重叠的第二处理区域；移动模具至第二处理区域；通过使第二加工区域中的可光致固化的树脂材料与模具上的印痕图案接触而使第二加工区域中的可光致固化的树脂材料变形；通过曝光使第二加工区域中的可光致固化的树脂材料固化；以及在第二加工区域中将固化的树脂材料和模具彼此分离；其特征在于：在模具上设置遮光元件；当使第二加工区域中的可光致固化的树脂材料固化时，通过遮光元件遮挡光使其不能照射第一加工区域中的固化的树脂材料。
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