[发明专利]气体供给装置及块状凸缘无效
| 申请号： | 200910174923.8 | 申请日： | 2009-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN101725752A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 井上贵史;西村康典 | 申请（专利权）人： | 喜开理株式会社 |
| 主分类号： | F16K27/00 | 分类号： | F16K27/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种气体供给装置及块状凸缘，该气体供给装置能够供给复杂的工艺气体，能够减小地面占有面积。在具有第一线路及第二线路的气体供给装置(1)中，该第一线路与第一质量流控制器(MB)连接，该第二线路与第二质量流控制器(MC)连接，该第一线路具有供给气体A的第一开闭阀(VB3)及供给气体C的第二开闭阀(VB2)，该第二线路具有供给气体B的第三开闭阀(VC3)及供给气体D的第四开闭阀(VC2)，在气体供给装置(1)中，气体A和气体B是相同的气体。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 供给 装置 块状 凸缘 | ||
【主权项】：
一种气体供给装置，具有第一线路及第二线路，该第一线路与第一质量流控制器连接，该第二线路与第二质量流控制器连接，该第一线路具有供给气体A的第一开闭阀及供给气体C的第二开闭阀，该第二线路具有供给气体B的第三开闭阀及供给气体D的第四开闭阀，其特征在于，所述气体A和所述气体B是同一气体。
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