[发明专利]一种激光两坐标装置有效
| 申请号： | 200910176442.0 | 申请日： | 2009-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN102004027A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 薛梓;叶孝佑;林琳;王鹤岩;孙双花;高宏堂;杨国梁 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 北京振安创业专利代理有限责任公司 11025 | 代理人： | 祁纯阳 |
| 地址： | 100013*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了满足高精度、大行程和微步距、可对二维光学线纹标准器(或掩膜板、网格板)进行高精度测量和溯源的激光两坐标标准装置。包括基座，关键是基座平面上设有具X、Y方向的共面气浮位移平台，气浮位移平台上设有零膨胀玻璃平台，被测件放置在零膨胀玻璃平台上，基座置于4个气浮脚支承上，气浮位移平台设有可X、Y方向位移的驱动装置，气浮位移平台上还有满足阿贝原则的激光测量装置和光学成像装置。本发明所使用的激光位置反馈分辨率为10nm，测长分辨率为0.3nm，保证整个系统实现大行程、微步距及纳米级的定位精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 坐标 装置 | ||
【主权项】：
一种激光两坐标装置，包括基座(1)，其特征在于基座(1)平面上设有具X、Y方向的共面气浮位移平台(3、4)，气浮位移平台上设有零膨胀玻璃平台(5)，基座(1)置于4个气浮脚支承(2)上，气浮位移平台设有可X、Y方向位移的驱动装置，气浮位移平台上还有满足阿贝原则的激光测量装置(17)和光学成像装置(16)。
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