[发明专利]横向DMOS晶体管及其制造方法无效
申请号: | 200910178836.X | 申请日: | 2009-09-28 |
公开(公告)号: | CN101714577A | 公开(公告)日: | 2010-05-26 |
发明(设计)人: | 李相容 | 申请(专利权)人: | 东部高科股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/423;H01L21/336;H01L21/28 |
代理公司: | 北京博浩百睿知识产权代理有限责任公司 11134 | 代理人: | 宋子良;张奇巧 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明的目的是提供一种LDMOS晶体管及其制造方法,可以提高LDMOS晶体管的漏极-源极之间的阻抗。LDMOS晶体管包括:P型本体区,形成在N阱中;源极区和源极接触区,形成在P型本体区中;漏极区,形成在与P型本体区隔开一定距离处;LOCOS,形成在P型本体区和漏极区之间的N阱的表面上;主栅电极,形成在LOCOS和N阱上;以及辅栅电极,形成在源极区和源极接触区之间。 | ||
搜索关键词: | 横向 dmos 晶体管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种LDMOS晶体管,包括:P型本体区,形成在N阱中;源极区和源极接触区,形成在所述P型本体区中;漏极区,形成为与所述P型本体区隔开一个距离;LOCOS,形成在所述P型本体区和所述漏极区之间的所述N阱的表面上;主栅电极,形成在所述LOCOS和所述N阱上;以及辅栅电极,形成在所述源极区和所述源极接触区之间。
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