[发明专利]吸附板和吸附板的制造方法无效
| 申请号： | 200910179455.3 | 申请日： | 2009-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN101733684A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 梶山启一;五木田洋平;原田晴司 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 党晓林;李艳艳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种卡盘工作台用吸附板及其制造方法，该卡盘工作台用吸附板适于进行磨轮的磨削面与卡盘工作台的保持面之间的找平。上述吸附板是吸引保持被加工物的保持工作台用吸附板，该吸附板由粒径为200μm～800μm的硅粒子一体烧结而形成。关于多孔状吸附板，将粒径为200μm～800μm硅粒子按体积比为50％～80％、与粒径为150μm以下的硅粒子按体积比为50％～20％混合，并将得到的混合物在真空气氛、惰性气体气氛或者还原气氛的任一种气氛中、且在0.1～20MPa的压力下以1200℃～1350℃的温度进行烧结，从而形成上述多孔状吸附板。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种吸附板，该吸附板为吸引保持被加工物的保持工作台用吸附板，其特征在于，上述吸附板由粒径为200μm～800μm的硅粒子一体烧结而形成。
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