[发明专利]压力传感器及受压单元无效
申请号: | 200910179766.X | 申请日: | 2009-10-15 |
公开(公告)号: | CN101726375A | 公开(公告)日: | 2010-06-09 |
发明(设计)人: | 佐藤健太 | 申请(专利权)人: | 爱普生拓优科梦株式会社 |
主分类号: | G01L1/10 | 分类号: | G01L1/10;G01L1/16;G01L9/08 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 黄纶伟 |
地址: | 日本东京*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的目的在于提供压力传感器及受压单元,能够在不使挠性部的弯曲灵敏度劣化的情况下抑制膜片的振动。本发明的压力传感器(10)具有:感压元件,其具有感压部和与该感压部的两端连接的一对基部(36);受压单元,其在一个主面上具有受压面(43),并在该受压面背侧的另一个主面上设置有一对支撑部(45),一对支撑部(45)覆盖上述感压元件的一个主面侧并分别支撑上述感压元件的上述一对基部(36),其特征在于,上述受压单元在相对于通过上述另一个主面的中心并朝上述一对支撑部(45)的排列方向延伸的第1假想线、以及通过上述中心并朝与上述第1假想线垂直的方向延伸的第2虚拟线中的至少任意一个假想线呈线对称的位置上具有厚壁部(50)。 | ||
搜索关键词: | 压力传感器 受压 单元 | ||
【主权项】:
一种压力传感器,该感压传感器具有:感压元件,其具有感压部和与该感压部的两端连接的一对基部;以及受压单元,其在一个主面上具有受压面,并在该受压面背侧的另一个主面上设置有一对支撑部,所述一对支撑部覆盖上述感压元件的一个主面侧,并且分别支撑上述感压元件的上述一对基部,该压力传感器的特征在于,上述受压单元在相对于第1假想线和第2假想线中的至少任意一个假想线呈线对称的位置上具有厚壁部,其中,所述第1假想线通过所述另一个主面的中心并朝上述一对支撑部的排列方向延伸,所述第2假想线通过上述中心并朝与上述第1假想线垂直的方向延伸。
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