[发明专利]微致动器偏移校正方法无效
申请号: | 200910179781.4 | 申请日: | 2009-10-19 |
公开(公告)号: | CN102044268A | 公开(公告)日: | 2011-05-04 |
发明(设计)人: | 苏怡宾;郭起祥 | 申请(专利权)人: | 广明光电股份有限公司 |
主分类号: | G11B7/085 | 分类号: | G11B7/085;G11B7/09;G11B21/02 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 史新宏 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种微致动器偏移校正方法,设定不同聚焦电压电平的参考反射面;对参考反射面的各个校正点进行聚焦,并记录平移电压;选择基准聚焦电压电平;计算其它聚焦电压电平各校正点的平移电压偏移量;将各校正点平移电压的偏移量,曲线适应各聚焦电压电平的平移电压偏移曲线;由内插或外插取得平移电压的偏移量,以校正平移电压。 | ||
搜索关键词: | 微致动器 偏移 校正 方法 | ||
【主权项】:
一种微致动器偏移校正方法,包含步骤:(1)设定数个不同聚焦电压电平的参考反射面;(2)对参考反射面的数个预定校正点进行聚焦,并记录各校正点的平移电压;(3)选择参考反射面的一聚焦电压电平作为基准聚焦电压电平;(4)计算参考反射面其它聚焦电压电平的各校正点相对基准聚焦电压电平的平移电压偏移量;(5)将各校正点平移电压的偏移量,适应成各聚焦电压电平的平移电压偏移曲线;以及(6)由平移电压偏移曲线,取得平移电压的偏移量,校正平移电压。
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