[发明专利]一种多晶硅生长铸锭炉

摘要

一种多晶硅生长铸锭炉，设有上炉体和下炉体，上炉体固定在机架的上部，下炉体通过开启装置装在机架的下部，上炉体内设有固定的上加热室，导热板的下面设有与上加热室的四壁扣合的承重板，在下炉体的正中开有一孔，在上述的孔部位装有下热场容器，下热场容器设有带独立循环冷却系统的容器壁，在下热场容器内设有硅液溢流承接器，硅液溢流承接器的下端通过升降装置与下热场容器容器壁相接。采用四周加热体、上加热体和下加热体，上、下两个热场进行独立控制，实现上、下热场梯度，操作方便，可以定向凝固生产大规格的多晶硅锭。硅液溢流承接器的设置，能够有效防止坩埚发生破裂或其它原因导致硅液溢出后硅液对炉体的损伤，生产安全可靠。

主权项

1.一种多晶硅生长铸锭炉，设有上炉体和下炉体，上炉体固定在机架的上部，下炉体通过开启装置装在机架的下部，其特征在于：上炉体内设有固定的上加热室，上加热室设有由保温材料构成的四壁和上盖，上加热室的底部设有承托坩埚的导热板，在上加热室内设有四周加热体和上加热体，导热板的下面设有与上加热室的四壁扣合的承重板，承重板的中部设有下加热器，在下炉体的正中开有一孔，在上述的孔部位装有下热场容器，下热场容器设置在承重板下方，下热场容器设有带独立循环冷却系统的容器壁，在下热场容器内设有硅液溢流承接器，硅液溢流承接器的上端口设有与承重板对接的密封面，硅液溢流承接器的下端通过升降装置与下热场容器的容器壁相接，在导热板上开有硅液导流孔。