[发明专利]六角形硅片的制造方法有效
| 申请号： | 200910183893.7 | 申请日： | 2009-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN101643940A | 公开（公告）日： | 2010-02-10 |
| 发明（设计）人： | 王兴龙 | 申请（专利权）人： | 常州银河半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/64;G03F7/20;G03F7/32;G03F7/40 |
| 代理公司： | 常州市天龙专利事务所有限公司 | 代理人： | 夏海初 |
| 地址： | 213022江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明所公开的是一种六角形硅片的制造方法，以经过合金化处理的扩散片为加工对象，且依次包括如下步骤：上胶，光刻，显影，坚膜，酸腐蚀，清洗，剥离；以其所述光刻步骤所采用的基准板，是具有六角形蜂窝状图纹的基准板，且其具有六角形蜂窝状图纹区的边缘，与所述扩散片的边缘之间保持距离；所述光刻步骤，是将扩散片布置在2块经校整重合其六角形蜂窝状图纹的基准板之间，所实施的双面同步光刻为主要特征。本发明具有产成品成型正确，生产成本低、原料硅片利用率高等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 六角形 硅片 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种六角形硅片的制造方法，以经过合金化处理的扩散片为加工对象，且依次包括如下步骤：上胶，光刻，显影，坚膜，酸腐蚀，清洗，剥离；其特征在于：a、所述光刻步骤所采用的基准板，是具有六角形蜂窝状图纹的基准板，且其具有六角形蜂窝状图纹区的边缘，与所述扩散片的边缘之间保持距离；b、所述光刻步骤，是将所述扩散片布置在2块经校整重合其六角形蜂窝状图纹的基准板之间，所实施的双面同步光刻。
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