[发明专利]Z方向叠层封装方法无效
| 申请号： | 200910184131.9 | 申请日： | 2009-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN101661895A | 公开（公告）日： | 2010-03-03 |
| 发明（设计）人： | 郁琦 | 申请（专利权）人： | 无锡华润安盛科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/50 | 分类号： | H01L21/50;H01L21/60 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所（普通合伙） | 代理人： | 顾吉云 |
| 地址： | 214128江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种叠合式正向键合法。其除了提供比传统的正向键合低的弧高和较少的颈部损坏之外，与反向球焊相比，降低了敏感芯片上的键合区损伤，还提高了产量。其特征在于：器件最大的弧高，不应高于保持环形层之间的最佳缝隙的芯片的厚度；在进行芯片与芯片间的连接时使用Bump球模式，即先在第二焊点打一个金球，然后再以正常键合的模式把金线从第一焊点连接到第二焊点；每一个金球的位置精度3um。 | ||
| 搜索关键词： | 方向 封装 方法 | ||
【主权项】：
1、Z方向叠层封装方法，其特征在于：器件最大的弧高，不应高于保持环形层之间的最佳缝隙的芯片的厚度；在进行芯片与芯片间的连接时使用Bump球模式，即先在第二焊点打一个金球，然后再以正常键合的模式把金线从第一焊点连接到第二焊点。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
