[发明专利]一种用来挑拣晶圆的机械手臂机构无效
| 申请号： | 200910190126.9 | 申请日： | 2009-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN102019614A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 温俊熙 | 申请（专利权）人： | 致茂电子(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/08 | 分类号： | B25J9/08;B25J15/06;G01N21/88 |
| 代理公司： | 广东国晖律师事务所 44266 | 代理人： | 欧阳启明 |
| 地址： | 518054 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明适用于晶圆检测技术领域，提供了一种用来挑拣晶圆的机械手臂机构，所述的机械手臂机构包括：一旋转装置、一旋转臂和二升降装置，其中：所述旋转装置具有一可旋转的转轴；所述旋转臂设置于所述转轴端部，向所述旋转装置两侧延伸，所述旋转臂可受所述转轴带动而旋转；所述二升降装置分别设置于所述旋转臂两端，所述二升降装置分别与一真空吸盘连结，用来带动所述真空吸盘产生垂直升降动作。本发明提供的机械手臂机构可在单一作动周期内完成两次晶粒移动，效率高于现有的单一机械手臂，可大幅降低搬运所需等待的时间；再者，本发明提供的机械手臂机构搭配可转动及位移的检测平台，更可简化机械手臂所需的动作及运动所需时间，提高检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用来 挑拣 机械 手臂 机构 | ||
【主权项】：
一种用来挑拣晶圆的机械手臂机构，其特征在于，所述的机械手臂机构包括：一旋转装置、一旋转臂和二升降装置，其中：所述旋转装置具有一可旋转的转轴；所述旋转臂设置于所述转轴端部，向所述旋转装置两侧延伸，所述旋转臂可受所述转轴带动而旋转；所述二升降装置分别设置于所述旋转臂两端，所述二升降装置分别与一真空吸盘连结，用来带动所述真空吸盘产生垂直升降动作。
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