[发明专利]使用MOEMS可动闪耀光栅阵列的光谱仪无效
| 申请号： | 200910190980.5 | 申请日： | 2009-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN101666681A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 张智海;莫祥霞;王伟;郭媛君 | 申请（专利权）人： | 重庆大学 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28;G01J3/18 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵荣之 |
| 地址： | 400044重*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种体积小、结构简单、成本低廉的使用MOEMS可动闪耀光栅阵列的光谱仪；包括光源；准直装置，使来自光源的光束平行；光栅或棱镜，接收光束并使光束色散；成像装置，将色散光束成像到MOEMS可动闪耀光栅阵列上，并将MOEMS可动闪耀光栅阵列衍射得光束成像到探测器；MOEMS可动闪耀光栅阵列及其驱动电路，用于衍射色散光束；所述MOEMS可动闪耀光栅阵列包括多个并列的MOEMS可动闪耀光栅，所述多个MOEMS可动闪耀光栅可在驱动电路的控制下分组进行偏转动作，以选通不同谱带光束；以及探测器；本发明的光谱仪具有光通量大、光能利用率高、信噪比高等优点，可广泛应用于生化分析、食品安全监测等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 moems 闪耀 光栅 阵列 光谱仪 | ||
【主权项】：
1.使用MOEMS可动闪耀光栅阵列的光谱仪，其特征在于：包括光源；准直装置，使来自光源的光束平行；光栅或棱镜，接收光束并使光束色散；成像装置，将色散光束成像到MOEMS可动闪耀光栅阵列上，并将MOEMS可动闪耀光栅阵列反射的光束成像到探测器；MOEMS可动闪耀光栅阵列及其驱动电路，用于衍射色散光束；所述MOEMS可动闪耀光栅阵列，包括多个并列的MOEMS可动闪耀光栅，所述多个MOEMS可动闪耀光栅可在驱动电路的控制下分组进行偏转动作，以选通不同谱带光束；以及探测器。
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