[发明专利]一种测试装置及其测试方法有效
| 申请号： | 200910194612.8 | 申请日： | 2009-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN101995525A | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 严大生;陈开贵;刘铁;贾珂;童建桥;何佳孟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;成都成芯半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种测试装置，包括基座，电测试部件，显微镜固定器以及显微镜，所述电测试部件设置于所述基座之上，所述显微镜固定器固定于所述基座上，所述显微镜通过所述显微镜固定器固定于所述电测试部件的上方，所述电测试部件包括载物台和探针，所述载物台用于固定被测器件，所述探针固定于所述载物台内，对所述被测器件的电气特性进行测试。本发明提供的测试装置及其测试方法可实现对微机电产品进行电测试，同时还可实现对微机电产品内部机械结构的功能进行测试。该测试装置采用将多个探针固定于载物台的方式取代了传统电测试方法所使用的探针卡，大大降低了测试成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种测试装置，包括基座，电测试部件，显微镜固定器以及显微镜，所述电测试部件设置于所述基座之上，所述显微镜固定器固定于所述基座上，所述显微镜通过所述显微镜固定器固定于所述电测试部件的上方，其特征在于，所述电测试部件包括载物台和探针，所述载物台用于固定被测器件，所述探针固定于所述载物台内，对所述被测器件的电气特性进行测试。
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