[发明专利]芯片的测试方法及系统有效
| 申请号： | 200910194788.3 | 申请日： | 2009-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN102004220A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 林光启;康栋;黄珺 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/317 | 分类号： | G01R31/317;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种芯片的测试方法和系统，该方法包括步骤：对晶圆分割出的n个芯片进行测试，得到n组测试数据，每组包括f种测试数据；将n组测试数据分为m个压缩组，每个压缩组中包括完整的组的测试数据；对每个压缩组中的每一种测试数据分别按照一定的函数关系进行压缩；将所述压缩的结果进行存储；对所述存储的测试数据进行分析；其中m、n和f为自然数，且n大于m。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 测试 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种芯片的测试方法，其特征在于，包括步骤：对晶圆分割出的n个芯片进行测试，每个芯片进行f种测试，得到n组测试数据，每组包括f种测试数据；将n组测试数据分为m个压缩组，每个压缩组中包括完整的组的测试数据；对每个压缩组中的每一种测试数据分别按照一定的函数关系进行压缩；将所述压缩的结果进行存储；对所述存储的测试数据进行分析；其中m、n和f为自然数，且n大于m。
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