[发明专利]负偏压温度不稳定性的测试方法

摘要

本发明公开了一种负偏压温度不稳定性的测试方法：确定至少两个不同测试负偏压下器件的寿命，通过拟合方式确定出测试负偏压与器件寿命之间的函数关系式；根据确定出的函数关系式，计算器件处于正常工作状态时的工作负偏压下的器件寿命；将计算出的器件寿命与预先设定的阈值进行比较，如果大于阈值，则测试通过。其中，在测试不同测试负偏压下的器件寿命的过程中，在每次测量器件的指定参数前，直接将测试负偏压降为工作负偏压，从而避免器件性能的恢复，保证测量结果的准确性，进而保证整个测试过程的准确性，且提高整个测试过程的处理速度；另外，相比于现有技术，本发明所述方案只测试器件的一个最重要的参数，从而进一步加快了测试速度。

主权项

一种负偏压温度不稳定性的测试方法，在测试过程中，测试温度保持在85～150摄氏度；该方法包括：A、确定至少两个不同测试负偏压下器件的寿命；其中，针对每个测试负偏压，分别执行以下操作：A1、向器件的栅极施加预定时长的测试负偏压；预定时长结束，将测试负偏压直接降为器件正常工作时的工作负偏压；A2、在所述工作负偏压下测量器件的参数的取值，并将测量到的取值与参数的标准取值进行比较，计算偏移率；A3、判断测量次数是否达到预定要求，如果是，则执行步骤A4；否则，返回执行步骤A1；A4、基于每次测量后计算得到的偏移率以及每次测量之前施加的测试负偏压的总时长，通过拟合方式确定出偏移率与总时长之间的函数关系式；A5、基于所述函数关系式，计算预先确定的最大允许偏移率对应的总时长，将计算出的总时长作为器件寿命；B、基于确定出的每个测试负偏压对应的器件寿命，通过拟合方式确定测试负偏压与器件寿命之间的函数关系式；C、根据步骤B中确定出的函数关系式，计算工作负偏压下的器件寿命；D、将步骤C中计算出的器件寿命与预先设定的阈值进行比较，如果大于所述阈值，则确定器件的负偏压温度不稳定性符合要求。