[发明专利]一种基于多个不同波长的对准方法有效
| 申请号： | 200910194853.2 | 申请日： | 2009-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN101634815A | 公开（公告）日： | 2010-01-27 |
| 发明（设计）人： | 韩悦;李运锋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于多个不同波长的对准方法。该方法接收多个不同波长光源的各三个周期各级次光的信号作为对准信号，根据反射信号强度与预定阈值的大小关系，以大、中周期一级次的信号进行捕获波长动态选择，以中周期各级次的信号和小周期一级次的信号进行对准波长动态选择，通过对准各级次权重计算和颜色、级次参数修正，获得最终对准位置。通过本发明提供的基于多个不同波长的对准方法，有效避免了不同周期不同级次信号强度变化规律不正常引起的误差，保证了选择合适的对准光束参与对准，进而提高对准精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 不同 波长 对准 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于多个不同波长的对准方法，其特征在于，包括：接收多个不同波长光源的各三个周期各级次光的信号作为对准信号，根据反射信号强度与预定阈值的大小关系，以大、中周期一级次的信号进行捕获波长动态选择，以中周期各级次的信号和小周期一级次的信号进行对准波长动态选择，通过对参与对准位置计算的各对准级次进行权重计算和颜色、级次参数修正，获得最终对准位置。
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