[发明专利]一种康芒法大口径平面镜检验集成装置

摘要

本发明公开了一种康芒法大口径平面镜检验集成装置，包括：本体上固联球面镜支架，同时载物台安放有平面镜支撑转台-支架系统，同时可以360°自由回转的高精度转台。整个结构从侧面看呈“L”形；平面镜支撑转台，其转轴与载物台转轴共轴；载物台及其载荷通过滚珠导轨卸载安放到基座上；载物台由蜗轮的主轴带动；蜗轮蜗杆系统由电机提供动力；编码器提供位置反馈信号，与电机构成闭环系统，控制载物台的位置。本发明的优点在于：省去了平时用瑞奇一康芒法检测平面镜面型时多次调整球面镜与平面镜角度、距离和同轴性的工作；整个系统结构简单，使用方便，精度好。

主权项

1.一种康芒法大口径平面镜检验集成装置，它包括：本体上具有固联球面镜支架，载物台上安放有平面镜转台-支架系统，同时可以360°自由回转的高精度转台，其特征在于：(1)具有悬挂球面镜的固联支架，整个结构从侧面看呈“L”形；(2)平面镜支撑转台(2-2)，其转轴与载物台(1-4)转轴共轴；(3)载物台(1-4)及其载荷通过滚珠导轨(1-5)卸载安放到基座上；(4)载物台(1-4)由蜗轮(1-13)的主轴(1-12)带动；(5)蜗轮(1-13)蜗杆(1-14)系统由伺服电机(1-6)提供动力；(6)编码器(1-9)提供位置反馈信号，与伺服电机(1-6)构成闭环系统，精确控制载物台(1-4)的位置。