[发明专利]一种具有高热释电性能的反铁电薄膜制备方法无效
| 申请号： | 200910195208.2 | 申请日： | 2009-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN102013453A | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 万海军;翁旭东;陈志辉;沈臻魁;江安全 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | H01L35/34 | 分类号： | H01L35/34;H01L35/12 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 包兆宜 |
| 地址： | 20043*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于微电子技术领域，涉及一种具有高热释电性能的反铁电薄膜制备方法。本发明利用反铁电薄膜在某一临界厚度以下显示铁电性而在此临界厚度以上显示反铁电性的特征，构建一层凹凸有致具有多种不同厚度的台阶状反铁电薄膜，每一阶台阶对应一种厚度，可以在单层反铁电薄膜上实现铁电区域和反铁电区域的交叉排列。由于反铁电薄膜和铁电薄膜堆叠后，薄膜的热释电系数相比单纯的反铁电薄膜会得到很大的提高，因此利用本方法制备的反铁电薄膜可以作为良好的热释电材料，用于红外热释电探测器，机敏器件和系统，且制备方法简单易操作，具有很大的成本优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 高热 性能 反铁电 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种具有高热释电性能的反铁电薄膜制备方法，其特征在于，通过构建一层凹凸有致具有多种不同厚度的铁电区域和反铁电区域交叉排列的台阶状反铁电薄膜，改善反铁电薄膜的热释电性能，其包括下述步骤：(1)利用溶胶‑凝胶的方法在基片上旋涂一层反铁电薄膜；(2)利用纳米压印技术将上述反铁电薄膜压成凹凸有致具有多种不同厚度的铁电区域和反铁电区域交叉排列的台阶状结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于复旦大学，未经复旦大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910195208.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
