[发明专利]发光二极管芯片及其制造方法无效
申请号: | 200910195849.8 | 申请日: | 2009-09-17 |
公开(公告)号: | CN101661988A | 公开(公告)日: | 2010-03-03 |
发明(设计)人: | 郝茂盛;张楠;袁根如;潘尧波;李士涛;陈诚;刘亚柱 | 申请(专利权)人: | 上海蓝光科技有限公司;彩虹集团公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L21/78 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 201210上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种发光二极管芯片,包括:生长衬底、N型GaN层、量子阱层、P型GaN层、N电极、P电极,芯片侧壁被粗化形成微结构。一种发光二极管芯片的制造方法,包括:对生长衬底刻蚀或激光划片形成沟道;生长外延形成长沟道;腐蚀长沟道侧壁的步骤。一种发光二极管芯片,包括:P电极层、转移衬底层、反射镜层、电流扩散层、P型GaN层、量子阱层、N型GaN层及N电极,芯片侧壁被粗化形成微结构。一种发光二极管芯片的制作方法,包括:包括对生长衬底刻蚀形成走道;生长外延形成长沟道;腐蚀长沟道侧壁的步骤。具有侧壁微观结构的芯片的出光效率大大提升,其亮度和毫瓦数均比常规工艺芯片高20%以上。 | ||
搜索关键词: | 发光二极管 芯片 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种发光二极管芯片,包括生长衬底、N型GaN层、量子阱层、P型GaN层、N电极及P电极,其特征在于:芯片侧壁被粗化,在芯片的侧壁形成微结构。
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