[发明专利]偏振无关宽带高效率石英透射光栅无效
| 申请号： | 200910195905.8 | 申请日： | 2009-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN101661126A | 公开（公告）日： | 2010-03-03 |
| 发明（设计）人： | 周常河;曹红超;冯吉军;贾伟;武腾飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于中心波长为800纳米波段的偏振无关宽带高效率石英透射光栅，该光栅的光栅周期为700-800纳米，光栅的刻蚀深度为1.5～2.5微米，占空比为0.55-0.75时，该熔融石英光栅对TE和TM偏振光的-1级的透射衍射效率可在740-880纳米波长范围内大于90％。本发明偏振无关宽带高效率石英透射光栅由光学全息记录技术或电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，取材方便，造价小，能大批量生产，具有重要的实用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振 无关 宽带 高效率 石英 透射 光栅 | ||
【主权项】：
1、一种用于800纳米波段的偏振无关宽带高效率石英透射光栅，其特征在于该光栅的周期为700～800纳米，光栅的刻蚀深度为1.5～2.5微米，光栅的占空比为0.55～0.75。
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