[发明专利]一种籽晶位置实时可调机构无效
申请号: | 200910196354.7 | 申请日: | 2009-09-25 |
公开(公告)号: | CN101760784A | 公开(公告)日: | 2010-06-30 |
发明(设计)人: | 黄小卫 | 申请(专利权)人: | 上海元亮光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B15/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201800 上海市嘉*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种籽晶位置实时可调机构,涉及晶体生长设备,包括提拉升降机构,顶端安装升降驱动机构,通过升降驱动装置提供提拉升降机构的驱动动力,还包括旋转机构,和提拉升降机构之间通过连接杆相接,在旋转机构下连接软轴或硬轴晶杆的一端,还包括密封的波纹管机构,其中波纹管机构和软轴或硬轴晶杆另一端相接,其特征在于:所述提拉升降机构的下端连接可旋转连接杆,所述可旋转连接杆和滑块装置相连,在所述可旋转连接杆驱动滑块装置进行360°旋转,滑块装置在水平面上做前后和左右滑动。有益效果是连接杆、旋转机构和滑块装置的配合使用,可以实现晶杆带动籽晶做三维运动,方便的实现了籽晶在水平面上的自由移动。 | ||
搜索关键词: | 一种 籽晶 位置 实时 可调 机构 | ||
【主权项】:
一种籽晶位置实时可调机构,包括提拉升降机构,顶端安装升降驱动机构,通过升降驱动装置提供提拉升降机构的驱动动力,还包括旋转机构,和提拉升降机构之间通过连接杆相接,在旋转机构下连接软轴或硬轴晶杆的一端,还包括密封的波纹管机构,其中波纹管机构和软轴或硬轴晶杆另一端相接,其特征在于:所述提拉升降机构的下端连接可旋转连接杆,所述可旋转连接杆和滑块装置相连,在所述可旋转连接杆驱动滑块装置进行360°旋转,滑块装置在水平面上做前后和左右滑动。
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