[发明专利]电镀工艺稳定性的在线监控方法有效
| 申请号： | 200910196468.1 | 申请日： | 2009-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN102031554A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 刘盛;聂佳相 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C25D21/12 | 分类号： | C25D21/12;C25D7/12;H01L21/288 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种电镀工艺稳定性的在线监控方法，包括：提供具有沟槽的晶圆，采用电镀工艺在所述沟槽内沉积金属，所述电镀工艺的电镀溶液中包含反应加速剂，使沟槽位置金属的沉积速度大于其它位置；测量沟槽位置与其它位置沉积的金属层的厚度差；如果所述的厚度差数值不在设定的标准数值之间，根据金属层厚度差的变化情况，对电镀溶液进行调整。本发明可以在线监控电镀溶液的稳定性，从而保证形成的金属层的性能稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 工艺 稳定性 在线 监控 方法 | ||
【主权项】：
一种电镀工艺稳定性的在线监控方法，其特征在于，包括：提供具有沟槽的晶圆，采用电镀工艺在所述沟槽内沉积金属，所述电镀工艺的电镀溶液中包含反应加速剂，使沟槽位置金属的沉积速度大于其它位置；测量沟槽位置与其它位置沉积的金属层的厚度差；如果所述的厚度差数值不在设定的标准数值之间，根据金属层厚度差的变化情况，对电镀溶液进行调整。
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