[发明专利]特征尺寸条和金属层标识的排布有效
| 申请号： | 200910196808.0 | 申请日： | 2009-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102034795A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 宁先捷;楠暖 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 牛峥;王丽琴 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种特征尺寸条的排布，所述特征尺寸条具有不同间距的特征尺寸，用于控制特征尺寸精确度，所述特征尺寸条位于晶圆允收测试WAT结构或可靠性reliability测试结构的空间内。本发明还公开了一种金属层标识的排布。采用本发明的特征尺寸条和金属层标识的排布结构，在提高生产效率的同时，还缩小特征尺寸条和金属层标识的占用切割道的空间。 | ||
| 搜索关键词： | 特征 尺寸 金属 标识 排布 | ||
【主权项】：
一种特征尺寸条的排布，所述特征尺寸条具有不同间距的特征尺寸，用于控制特征尺寸精确度，其特征在于，所述特征尺寸条位于晶圆允收测试WAT结构或可靠性reliability测试结构的空间内。
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