[发明专利]抛光液混合设备无效
| 申请号： | 200910197251.2 | 申请日： | 2009-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN102039095A | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | 李景伦 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B01F13/00 | 分类号： | B01F13/00;B01F15/04;B01F3/08 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种抛光液实时混合设备，该设备包括：第一抛光液储存装置，用于储存第一抛光液；第二抛光液储存装置，用于储存第二抛光液；第一过滤装置；第二过滤装置；第一阀门；第二阀门；抛光液混合装置，用于混合所述第一抛光液和所述第二抛光液；其中，所述第一、第二过滤装置的过滤孔径≤100μm；所述第一、第二过滤装置的第一端分别连接所述第一、第二抛光液储存装置，第二端分别连接所述第一、第二阀门的第一端；所述第一、第二阀门的第二端分别连接所述抛光液混合装置的第一端。第一、第二阀门分别控制第一、第二抛光液储存装置中储存的第一、第二抛光液的流通与关断。因此，本发明的抛光液混合设备能够实现抛光液实时混合。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 混合 设备 | ||
【主权项】：
一种抛光液混合设备，其特征在于，所述抛光液混合设备包括：第一抛光液储存装置，用于储存第一抛光液；第二抛光液储存装置，用于储存第二抛光液；第一过滤装置；第二过滤装置；第一阀门；第二阀门；抛光液混合装置，用于混合所述第一抛光液和所述第二抛光液；其中，所述第一、第二过滤装置的过滤孔径≤100μm；所述第一、第二过滤装置的第一端分别连接所述第一、第二抛光液储存装置，第二端分别连接所述第一、第二阀门的第一端；所述第一、第二阀门的第二端分别连接所述抛光液混合装置的第一端。
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